六氟化硫用处六氟化硫以其杰出的韩国单组份丙烯酸树脂绝缘功能和灭弧功能,被广泛应用于电器工业,如:断路器、高压开关、高压变压器、气关闭组合电容器、高压传输线、互感器等。SF6还因其化学慵懒、无毒、韩国单组份丙烯酸树脂不燃及无腐蚀性,还被广泛应用于金属锻炼(如镁合金熔化炉维护气体)、航空航天、医疗(X光机、激光机)、气候(示踪剖析)、化工(高档汽车轮胎、新式灭火器)等。电子级高纯六氟化硫是一种抱负的电子蚀刻剂,被很多应用于微电子技能范畴。跟着当今科技的开展,SF6触及的范畴不断扩展,被越来韩国单组份丙烯酸树脂越多的根底范畴和科技范畴广泛应用
四氟化碳是现在微电子工业中用量最大的等离子烛刻气体,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯阳氧气的混合体,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜资料的烛刻。
在电子器件外表清洗、太阳能电池的出产、激光技能、气相绝缘、低温制冷、走漏查验剂、韩国单组份丙烯酸树脂操控宇宙火箭姿势、印刷电路出产中的去污剂等方面也很多运用
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